洗浄ソリューション
当社は洗浄装置分野におけるリーディングカンパニーとして、高い清浄度を実現する洗浄ソリューションを提供しています。 本ソリューションは、基板表面に付着した汚染物質や微粒子を効果的に除去し、製造工程に求められる清浄度要件を満たすことを目的としています。 プロセス条件の最適化により、最大 99％の異物除去率 を達成し、安定した量産品質の確保に貢献します。
当社は洗浄装置分野におけるリーディングカンパニーとして、高い清浄度を実現する洗浄ソリューションを提供しています。 本ソリューションは、基板表面に付着した汚染物質や微粒子を効果的に除去し、製造工程に求められる清浄度要件を満たすことを目的としています。 プロセス条件の最適化により、最大 99％の異物除去率 を達成し、安定した量産品質の確保に貢献します。