露光装置

設計コンセプト

当社は、省エネルギー化の潮流に対応しつつ、お客様製品の歩留まり向上を実現するため、欧州の先進技術パートナーと協業し、UV LED 露光装置 を共同開発しました。本装置は、従来の高消費電力型 水銀ランプ露光装置 に代わる次世代露光技術として位置づけられています。
従来の露光装置では、基板の膨張、ランプ寿命の短さ、高い消費電力といった課題がありましたが、これらの問題を解決するため、光源の刷新に加え、装置構造および動作機構を大幅に見直しました。密閉構造設計および自動露光制御を採用することで、高精度・高清浄度・高スループット を同時に実現しています。
また、保守性を重視したシンプルな構成と複数の独自特許技術を組み合わせることで、安定した長期運用を可能としました。UV LED 露光装置の採用により、従来の水銀ランプ方式と比較して エネルギー消費および材料消費を最大約 85％削減 することができ、お客様の製造コスト低減と競争力向上に大きく貢献します。

◎HILED-D1 は、UV LED 露光装置のロゴおよび型式であり、環境配慮型エネルギーに対する当社の取り組みを象徴するものです。