VSP 垂直単枚搬送装置
当社の VSP 垂直単枚プロセス装置 は、従来のキャリア（フレーム）方式に代わる次世代ソリューションとして開発されました。GliCAP
プロセス、複数薬液プロセス、長時間反応処理、ならびに実験・評価用途といった多様な要求に対応するため、新たな発想を取り入れた VSP（Vertical Single
Panel Process） を採用しています。
本装置は、従来のキャリア依存型プロセス構造から脱却し、単枚処理による高精度なプロセス制御を実現します。これにより、歩留まり管理、清浄度、構造的柔軟性、ならびにコスト効率の各側面において、総合的な最適化を可能としています。