VSP 垂直单片搬送设备
叙丰 VSP 垂直单片制程设备 — 有别于传统挂篮的次世代解决方案，为因应Glicap、复数药液制程、长时间反应处理及实验应用需求，叙丰导入创新思维，开发出VSP（Vertical Single Panel Process）垂直单片制程设备，彻底跳脱传统挂篮式制程架构，在良率控制、洁净度、弹性设计与成本效益等面向皆实现全面优化。
叙丰 VSP 垂直单片制程设备 — 有别于传统挂篮的次世代解决方案，为因应Glicap、复数药液制程、长时间反应处理及实验应用需求，叙丰导入创新思维，开发出VSP（Vertical Single Panel Process）垂直单片制程设备，彻底跳脱传统挂篮式制程架构，在良率控制、洁净度、弹性设计与成本效益等面向皆实现全面优化。