显影方案
卓越显影的设备，此方案叙丰透过显影液(TMAH、KOH、K2CO3)有效的去除光阻，来达成定义之图形，并以不同的制程来选用最佳化的喷嘴或液刀，并以特殊的喷洒设计来达到最佳的均匀性，在此消泡纯水清洗，抽风流体力学及药液防止外泄设计也是一个很重要的一个环节，能确保产出基板品质，使基板状态能符合下个制程的需求条件。
卓越显影的设备，此方案叙丰透过显影液(TMAH、KOH、K2CO3)有效的去除光阻，来达成定义之图形，并以不同的制程来选用最佳化的喷嘴或液刀，并以特殊的喷洒设计来达到最佳的均匀性，在此消泡纯水清洗，抽风流体力学及药液防止外泄设计也是一个很重要的一个环节，能确保产出基板品质，使基板状态能符合下个制程的需求条件。