VSP 垂直單片搬送設備
敍豐 VSP 垂直單片製程設備 — 有別於傳統掛籃的次世代解決方案，為因應Glicap、複數藥液製程、長時間反應處理及實驗應用需求，敍豐導入創新思維，開發出VSP（Vertical Single Panel Process）垂直單片製程設備，徹底跳脫傳統掛籃式製程架構，在良率控制、潔淨度、彈性設計與成本效益等面向皆實現全面優化。
敍豐 VSP 垂直單片製程設備 — 有別於傳統掛籃的次世代解決方案，為因應Glicap、複數藥液製程、長時間反應處理及實驗應用需求，敍豐導入創新思維，開發出VSP（Vertical Single Panel Process）垂直單片製程設備，徹底跳脫傳統掛籃式製程架構，在良率控制、潔淨度、彈性設計與成本效益等面向皆實現全面優化。