高階載板用垂直濕製程設備

設計理念

隨著5G、AI、高效能運算等應用快速發展，ABF載板與TGV（Through Glass Via）製程朝向多層化、高密度、薄型化演進，對基板的搬送穩定性與製程潔淨度提出前所未有的挑戰。傳統上下夾持式設備面對**<0.1mm 極薄基板**時，常因重力變形、受壓破片、微粒污染等問題，難以滿足高良率製程需求。

敍豐針對此痛點，顛覆傳統設計邏輯，開發出專為次世代薄板而生的**「垂直式前後夾持框架濕製程設備」**。該設備結合多項自主專利技術，具備以下核心優勢：

本設備已正式導入多家先進封裝與高階載板客戶進行試產驗證，並獲得高度評價。敍豐將持續以設備整合力與製程理解為核心，助力客戶突破未來封裝技術門檻。

設備設計特色

• Class 100超高潔淨等級
  嚴格控管製程環境，有效防止二次汙染，提升產品良率與製程可靠性。
• 專利框架設計＋防追撞系統
  專屬設計大幅提升框架壽命，防止高速運作中之機構干涉或錯位風險。
• 雙面對應之噴壓與吹乾技術
  有效控制雙面基板處理的一致性與均勻性，杜絕藥液交叉汙染與框架殘液問題。
• 非接觸式輸送系統
  針對細線路高階基板設計，避免運送過程中之機械接觸與損傷。

設備應用價值

• 降低維護頻率與縮短保養週期
  高穩定設計減少設備異常與停機時間，提升總體稼動率。
• 提升產品良率，有效降低報廢率
  潔淨處理與精準控制使製程穩定可靠，讓客戶在高階製程中更具競爭力。
• 高安全性設計
  人因工程導向機構設計，降低人為操作風險，確保操作人員安全。

設備規格

設備尺寸	2500(W)×2100(H)mm(依製程長度而異)
生產尺寸	510 x 510 mm + 510 x 515 mm
生産厚度	0.03~3mm
潔淨度	CLASS 100
產能	2~3枚/min
框架需求數	可依需求設計
OPTION	①台車 ②框架扭力檢知功能