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設計理念 清洗方案 顯影方案 蝕刻方案 剝膜方案
清洗方案

清洗方案

清洗設備的領導者，敍豐提供高潔淨度的方案，此方案可以有效的去除基板的髒污及微小粒質，以達到在生產過程中的潔淨度的要求，並可達成99%去除率。

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