顯影方案
卓越顯影的設備，此方案敍豐透過顯影液(TMAH、KOH、K2CO3)有效的去除光阻，來達成定義之圖形，並以不同的製程來選用最佳化的噴嘴或液刀，並以特殊的噴灑設計來達到最佳的均勻性，在此消泡純水清洗，抽風流體力學及藥液防止外洩設計也是一個很重要的一個環節，能確保產出基板品質，使基板狀態能符合下個製程的需求條件。
卓越顯影的設備，此方案敍豐透過顯影液(TMAH、KOH、K2CO3)有效的去除光阻，來達成定義之圖形，並以不同的製程來選用最佳化的噴嘴或液刀，並以特殊的噴灑設計來達到最佳的均勻性，在此消泡純水清洗，抽風流體力學及藥液防止外洩設計也是一個很重要的一個環節，能確保產出基板品質，使基板狀態能符合下個製程的需求條件。