剝膜方案

卓越工藝技術的剝膜設備

在此方案中敍豐提供(鹼性溶劑.有機溶劑.無機溶劑)的是設備的均勻性及穩定性,並在槽體內進行不同程度的噴灑設計及滾刷設計,有效的去除不必要的光阻及微粒,在以液切.中壓.二流體及循環水洗的設計方式去除100%不必要的剝膜液體,在於安全設計上敍豐依照客戶提供的藥液MSDS或工作溫度進行設計,並可依製程搭配防爆系統設計,用料選料都是敍豐在製造設備所需考量的細節,並提供最佳的生產基板環境,使基板順利的進入下一段的工序。

產品設計理念

• 適用於G2~G8.5尺寸基板使用
• 去除率100%,卓越的設備97%稼動率
• 均採用內外槽體安全性和高效能生產的理念下進行設計
• 確保下段製程的潔淨需求,可達到無MURA.無輪痕.無水痕及無化學藥液殘留
• 產速可依照客戶端的需求進行設計,專利噴灑.可調式產速設計.定量及藥液監控系統,使客戶能在製程條件上有更優化的搭配
• 可依客戶製程需求採用雙過濾集膜系統,可使濾心的替換率大幅的降低,並且有效的降低設備運行成本

產品價值

• 最高品質的設備設計,不管是在設備運行成本及設備穩定性.可靠性,敍豐的設備都有具有十分優越的展現
• 完善的化學防護設計,提供針對溶劑類藥液防爆偵測防護與消防設計,設備隔絕設計和抽氣流力學,提升設備及操作人員安全性