剥膜方案

卓越工艺技术的剥膜设备

在此方案中叙丰提供(碱性溶剂.有机溶剂.无机溶剂)的是设备的均匀性及稳定性,并在槽体内进行不同程度的喷洒设计及滚刷设计,有效的去除不必要的光阻及微粒,在以液切.中压.二流体及循环水洗的设计方式去除100%不必要的剥膜液体,在于安全设计上叙丰依照客户提供的药液MSDS或工作温度进行设计,并可依制程搭配防爆系统设计,用料选料都是叙丰在制造设备所需考虑的细节,并提供最佳的生产基板环境,使基板顺利的进入下一段的工序。

产品设计理念

• 适用于G2~G8.5尺寸基板使用
• 去除率100%,卓越的设备97%稼动率
• 均采用内外槽体安全性和高效能生产的理念下进行设计
• 确保下段制程的洁净需求,可达到无MURA.无轮痕.无水痕及无化学药液残留
• 产速可依照客户端的需求进行设计,专利喷洒.可调式产速设计.定量及药液监控系统,使客户能在制程条件上有更优化的搭配
• 可依客户制程需求采用双过滤集膜系统,可使滤心的替换率大幅的降低,并且有效的降低设备运行成本

产品价值

• 最高质量的设备设计,不管是在设备运行成本及设备稳定性.可靠性,叙丰的设备都有具有十分优越的展现
• 完善的化学防护设计,提供针对溶剂类药液防爆侦测防护与消防设计,设备隔绝设计和抽气流力学,提升设备及操作人员安全性