蚀刻方案

优越的蚀刻设备

此方案中叙丰提供(Metal.ITO.Sio2)卓越的均匀性及稳定性,并在槽体内进行不同程度的喷洒或摆动喷洒设计,有效的去除不必要的金属薄膜及微粒,在以液切.中压.循环水洗的设计方式去除不必要的酸性液体,在于安全设计上叙丰具有防止酸液外泄的特殊设计,始作业人员具最佳的保护机制,在最安全及高效率中生产,并提供最佳的基板进入下一段的工序后,达成客户给予叙丰的使命。

产品的设计理念

• 适用于G2~G8.5尺寸基板使用
• 优越的显影均匀性＜ 8%
• 均采用内外槽体安全性和高效能的理念下进行设计
• 卓越的设备97%稼动率
• 确保下段制程的洁净需求,可达到无MURA.无轮痕.无水痕及无化学药液残留
• 产速可依照客户端的需求进行设计,专利摆动喷洒.可调式产速设计.Spray与Dip设计及药液监控系统,使客户能在制程条件上有更优化的搭配
• 蚀刻PUMP的选用,叙丰均不采用PP PUMP,叙丰使用的是进口品牌高价的铁弗龙PUMP,可以使客户端减少维修的机会及停机的频率

产品价值

• 提供安全.稳定.高均匀性及高产出速度的设备
• 高稼动率,使客户端能快速掌握市场先机
• 优质的设备制造材料的选用可靠度高,并有效的降低维修频率,减少耗材的花费