清洗方案

清洗设备的领导者

在清洗设备的解决方案中,叙丰提供高洁净度的方案,此方案可以有效的去除基板的脏污及微小粒质,以达到在生产过程中的洁净度的要求,并可达成99%去除率。

产品设计理念

• 适用于G2~G8.5尺寸基板使用
• 高效率的清洗能力,有效的去除Particle及有机杂质,有效的去除污染物,并提高基板的出产品质
• 并可依照去污物质的特性,选用盘刷、滚刷、HPMJ或新式150KG级超高压能使水分子雾化形成极细小的水分子结构，来清洁基板上微小脏污
• 确保下段制程的洁净需求,可达到无MURA.无轮痕及无水痕
• 产速可依照客户端的需求进行调整,并可加速客户的产量能力

产品价值

• 使用高质量进口低含碳板材,来制作叙丰的设备,使客户不需担心基板的二次污染的问题
• 特殊齿轮设计,无须担心齿轮磨耗带来的粉尘问题
• 特殊的专利齿轮传动设计,使生产速度稳定,无须担心传统设计炼轮传动带来炼条松动及锈蚀问题的产生,使产速不稳之问题