清洗方案

清洗設備的領導者

在清洗設備的解決方案中,敍豐提供高潔淨度的方案,此方案可以有效的去除基板的髒污及微小粒質,以達到在生產過程中的潔淨度的要求,並可達成99%去除率。

產品設計理念

• 適用於G2~G8.5尺寸基板使用
• 高效率的清洗能力,有效的去除Particle及有機雜質,有效的去除汙染物,並提高基板的出產品質
• 並可依照去汙物質的特性,選用盤刷、滾刷、HPMJ或新式150KG級超高壓能使水分子霧化形成極細小的水分子結構，來清潔基板上微小髒汙
• 確保下段製程的潔淨需求,可達到無MURA.無輪痕及無水痕
• 產速可依照客戶端的需求進行調整,並可加速客戶的產量能力

產品價值

• 使用高品質進口低含碳板材,來製作敍豐的設備,使客戶不需擔心基板的二次汙染的問題
• 特殊齒輪設計,無須擔心齒輪磨耗帶來的粉塵問題
• 特殊的專利齒輪傳動設計,使生產速度穩定,無須擔心傳統設計鍊輪傳動帶來鍊條鬆動及鏽蝕問題的產生,使產速不穩之問題